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      石英

      密度:2.20±0.02g/cm^3

      透過率:≥92%@193nm;≥98%@248nm

      光學均勻性:±(2-10)×10^-6

      應力雙折射:2-5nm/cm

      尺寸尺寸范圍側垂光潔度面形角度公差光學平行差通光孔徑
      5×5-10×10mm
      1′20/10-60/40λ/4-λ/10
      2″-60″2″-3′
      ≥90%
      20×20-50×50mm1′20/10-60/40λ/4-λ/10
      2″-60″
      2″-3′
      ≥90%
      60×60-100×100mm1′40/20-80/50λ/4-λ/10
      2″-60″
      2″-3′
      ≥90%


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